从理论上来说,深紫光光刻机最高的制程只能做到7n等节点,就必须要用到极紫光光源。
光机所早就想深入研究极紫光光源,但由于经费的问题,迟迟没有立项。
现在张潇主动找上门,人家当然要提条件了。
听到这个,胡杨也感到头疼。这两个研发项目,一个深紫光光源升级,一个极紫光光源研发,都是很烧钱的项目。
和很多人想象的不一样,光源其实是消耗品。不同技术水平的光源,在精度和使用寿命上有很大的区别,并不是能用就够了。
“张总,这两个项目是一脉相承的,未来总会遇到这个难关。你想啊,咱们下一代的设备就是32n以下也不是遥远的事情。
这样,我给梁经理打个招呼,帮你们筹集一笔专项资金。这笔资金就专门用来解决光源的问题,你看呢?”
胡杨打算给博隆光学(激光技术)有限公司投一笔资金,支持公司和光机所的联合研发项目。
博隆光学(激光技术)有限公司,是博隆光学的全资子公司,具有激光技术方面的研发和生产能力。
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