用分辨率高的先进光刻机生产出来的低端芯片,往往有着很高的合格率,虽然不可能达到100,但是却可以无限接近这个数值。
20片圆晶片测试的基数还是太少,但不管如何,至少证明这4台阿斯麦光刻机确实要比东芝的光刻机先进。
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