阿斯麦和尼康佳能选择的是直接从德国某公司购买,庄纯也通过某些特殊渠道拿到了这种名为极紫外的光源的制造工艺,嗯,你们懂的。
阿斯麦最先进的光刻机已经采用这种光源成功将关键尺寸缩小到了7nm,甚至有望突破更小的极限。
而系统提供的光源制造工艺则采用了另一种方式,称之为量式固态紫外光源,理论上的极限光源,已突破物理极限。
制备流程相当复杂,庄纯依托庞大的实验数据支撑,以及海量的材料消耗,也足足费了两三天的时间,才成功制备出了这种光源。
庄纯却不知,如果这个实验室的成果公之于众的话,全世界都会震惊,毕竟华夏2017年初才刚宣称历时五年终于研制出世界最亮极紫外光源……
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